Țintele de tungsten sunt utilizate pe scară largă în multe domenii, inclusiv în principal producția de semiconductori, dispozitivele sursă de neutroni de spalație, procesele de fotolitografie, tehnologia de depunere a filmelor subțiri, dispozitivele de fuziune nucleară etc.
Aplicație în fabricarea semiconductoarelor
În producția de semiconductori, țintele de tungsten sunt utilizate în principal în procesele de fotolitografie și tehnologia de depunere a filmelor subțiri. Densitatea ridicată, duritatea ridicată și reactivitatea chimică scăzută a țintelor de tungsten le permit să ofere un control precis al gravării în timpul gravării cu plasmă, să reducă pierderile inutile de material și să asigure finețea și integritatea modelelor de circuit. În tehnologia de depunere a filmelor subțiri, țintele de tungsten sunt formate în pelicule dense prin depunere fizică de vapori (PVD) și depunere chimică de vapori (CVD). Aceste filme au duritate mare și rezistență la uzură, ceea ce îmbunătățește rezistența mecanică și durabilitatea dispozitivelor semiconductoare. În același timp, conductivitatea lor ridicată și impedanța scăzută ajută la îmbunătățirea eficienței conducției curente și la reducerea consumului de energie.
Aplicare în surse de neutroni de spalare
Țintele de tungsten joacă, de asemenea, un rol cheie în dispozitivele sursă de neutroni de spalație. Sursele de neutroni de spalație produc neutroni prin bombardarea nucleelor atomice grele cu protoni de înaltă energie, care sunt utilizați pentru a studia microstructura și proprietățile dinamice ale materiei. Tungstenul a devenit materialul preferat pentru dispozitivele de fuziune nucleară și sursele de neutroni de spalație datorită punctului său de topire ridicat, conductibilității termice ridicate și ratei scăzute de pulverizare. Sursele de neutroni de spalație pot oferi un spectru mai larg de energie a neutronilor, extinzând sfera cercetării științei neutronilor, în special în cercetarea științei materialelor. Aplicarea țintelor de tungsten face posibilă studierea materialelor de stocare a hidrogenului, legile de reacție a bateriilor și dezvoltarea de noi materiale.