Țintele de tantalude obicei vin sub formă de discuri sau plăci dreptunghiulare, dar pot fi realizate și într-o varietate de forme și dimensiuni, în funcție de cerințele specifice aplicației. Principalele sale caracteristici structurale includ:
Puritate ridicată: de obicei mai mult de 99,9%, uneori chiar până la 99,999%. Puritatea ridicată asigură că nu sunt introduse impurități nedorite în timpul procesului de depunere a filmului subțire.
Uniformitate: Țintele de tantal trebuie să aibă o microstructură uniformă pentru a asigura o distribuție uniformă a materialului în timpul depunerii filmului subțire.
Densitate mare: uniformitatea densității este esențială pentru a asigura stabilitatea în timpul depunerii.